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CM사업

반도체 부품 기술의 무한한 가능성! 새로운 기회창출로 미래를 그리는 기업 - LOTCES

사업분야

CM사업부에서는 반도체 PHOTO 공정의 고정밀 및 균일한 온도 Uniformity를 갖는 Al (Aluminum) Heater와 AlN (Ceramic) Heater, 디스플레이, Solar 기타 정밀 온도 제어를 요구하는 산업용 장비의 다양한 분야의 정밀 Heater를 공급하고 있습니다.
또한, 고순도 화학 물질 및 유체를 이송시키는 특수 Pump 인 Bellows Pump, 반도체 디스플레이 분야 제조 공정 중 발생한 부산물의 Vacuum Pump 내 유입을 방지하는 Pump 보호용 Auto Gate Valve, 고진공 또는 초 고진공을 요하는 Robot 관절부와 Pump 등 다양한 제품에 기존 O-Ring Seal을 대체하는 Magnetic Fluid Seal을 접목한 제품을 설계, 제작 공급하고 있습니다.
그 외 고객사 제품의 양산(OEM) 제작, 개조 진행 고장 수리 및 원인 분석을 위한 전담 조직을 구성 운영하여 고객사의 Needs 파악하여, 고객사에 최적의 맞춤형 솔루션을 제공해 드리고 있습니다.

제품소개

본문

  • Auto Gate Valve

    Auto Gate Valve는 반도체, 디스플레이 분야 제조 공정의 Process Chamber와 Vacuum Pump 사이의 배관에 설치하여 공정 중 발생한 부산물의( Sludge, Powder ) Vacuum Pump 內 유입을 방지하는 Pump 보호용 밸브입니다.

    상세정보

    ■ 제품 Line-Up 및 사양 


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    ※ AGV : Normal Type / PGV : Protection Type / PGVH : Protection Heating Type



    ■ 제품 특징 

    ✓ 간편한 조작

    ✓ Heater 적용으로 오염 최소화 ( Heater 적용 제품군 )

    ✓ PM (예방정비) 손실 시간 단축

    ✓ Valve 원격 제어 가능


    ■ 적용 분야

    #반도체 제조 #태양광 #태양전지 #LED #평판 디스플레이 제조 등

    주식회사 엘오티씨이에스 대표자 : 김호식 대표번호 : 041-548-6540 팩스 : 041-541-7540 개인정보보호책임 : admin@lotces.com 본점 : 경기도 오산시 지곶중앙로 1-20 지점 : 충청남도 아산시 음봉면 연암산로 62-5(1공장) / 62-7(2공장)

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