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CM사업

반도체 부품 기술의 무한한 가능성! 새로운 기회창출로 미래를 그리는 기업 - LOTCES

사업분야

CM사업부에서는 반도체 PHOTO 공정의 고정밀 및 균일한 온도 Uniformity를 갖는 Al (Aluminum) Heater와 AlN (Ceramic) Heater, 디스플레이, Solar 기타 정밀 온도 제어를 요구하는 산업용 장비의 다양한 분야의 정밀 Heater를 공급하고 있습니다.
또한, 고순도 화학 물질 및 유체를 이송시키는 특수 Pump 인 Bellows Pump, 반도체 디스플레이 분야 제조 공정 중 발생한 부산물의 Vacuum Pump 내 유입을 방지하는 Pump 보호용 Auto Gate Valve, 고진공 또는 초 고진공을 요하는 Robot 관절부와 Pump 등 다양한 제품에 기존 O-Ring Seal을 대체하는 Magnetic Fluid Seal을 접목한 제품을 설계, 제작 공급하고 있습니다.
그 외 고객사 제품의 양산(OEM) 제작, 개조 진행 고장 수리 및 원인 분석을 위한 전담 조직을 구성 운영하여 고객사의 Needs 파악하여, 고객사에 최적의 맞춤형 솔루션을 제공해 드리고 있습니다.

제품소개

본문

  • 반도체 Wafer용 Hot Plate

    1) Aluminum Heater
    2) Ceramic Heater (질화알루미늄(AlN) Heater)

    상세정보

    1) Aluminum Heater

    - Mica Heater는 발열체를 얇은 운모 시트로 덮은 Heater로 균일한 온도 분포 및 가열 효율성 높으며, 내부 발열체 설계가 자유로운 Heater 제품


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    ■ 제품 특징 

    ✓ 우수한 열 전도성 및 균일한 온도 분포

    ✓ 정밀 온도 제어          

    ✓ 우수한 전기 절연성

    ✓ 내부 발열체 설계 자유로움


    2) Ceramic Heater (질화알루미늄(AlN) Heater)

    - 열 전도성, 전기 절연성, 열충격 저항성이 우수한 AlN Plate 면에 발열체(AgPd Paste)를 인쇄하여, 최대 250℃의 작동 온도를 갖는 Heater 제품



    ■ 제품 특징 

    ✓ 우수한 열 전도성 및 균일한 온도 분포

    ✓ 정밀 온도 제어     

    ✓ 우수한 전기 절연성

    ✓ 열 충격 저항성 우수

    ✓ 간편한 유지 보수 및 비용 절감 



    ■ 제품 기술사양(Spec.)


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    ■ 적용 분야

    #반도체 #디스플레이 #태양광 #태양전지 #LED #LCD #전자산업


    ■ 기타 제품군

    Elbow Heater / Insulation Heater

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