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반도체 Wafer용 Hot Plate
1) Aluminum Heater
2) Ceramic Heater (질화알루미늄(AlN) Heater)
2) Ceramic Heater (질화알루미늄(AlN) Heater)
상세정보
1) Aluminum Heater
- Mica Heater는 발열체를 얇은 운모 시트로 덮은 Heater로 균일한 온도 분포 및 가열 효율성 높으며, 내부 발열체 설계가 자유로운 Heater 제품
■ 제품 특징
✓ 우수한 열 전도성 및 균일한 온도 분포
✓ 정밀 온도 제어
✓ 우수한 전기 절연성
✓ 내부 발열체 설계 자유로움
2) Ceramic Heater (질화알루미늄(AlN) Heater)
- 열 전도성, 전기 절연성, 열충격 저항성이 우수한 AlN Plate 면에 발열체(AgPd Paste)를 인쇄하여, 최대 250℃의 작동 온도를 갖는 Heater 제품
■ 제품 특징
✓ 우수한 열 전도성 및 균일한 온도 분포
✓ 정밀 온도 제어
✓ 우수한 전기 절연성
✓ 열 충격 저항성 우수
✓ 간편한 유지 보수 및 비용 절감
■ 제품 기술사양(Spec.)
■ 적용 분야
#반도체 #디스플레이 #태양광 #태양전지 #LED #LCD #전자산업
■ 기타 제품군
Elbow Heater / Insulation Heater