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CM사업

반도체 부품 기술의 무한한 가능성! 새로운 기회창출로 미래를 그리는 기업 - LOTCES

사업분야

CM사업부에서는 반도체 PHOTO 공정의 고정밀 및 균일한 온도 Uniformity를 갖는 Al (Aluminum) Heater와 AlN (Ceramic) Heater, 디스플레이, Solar 기타 정밀 온도 제어를 요구하는 산업용 장비의 다양한 분야의 정밀 Heater를 공급하고 있습니다.
또한, 고순도 화학 물질 및 유체를 이송시키는 특수 Pump 인 Bellows Pump, 반도체 디스플레이 분야 제조 공정 중 발생한 부산물의 Vacuum Pump 내 유입을 방지하는 Pump 보호용 Auto Gate Valve, 고진공 또는 초 고진공을 요하는 Robot 관절부와 Pump 등 다양한 제품에 기존 O-Ring Seal을 대체하는 Magnetic Fluid Seal을 접목한 제품을 설계, 제작 공급하고 있습니다.
그 외 고객사 제품의 양산(OEM) 제작, 개조 진행 고장 수리 및 원인 분석을 위한 전담 조직을 구성 운영하여 고객사의 Needs 파악하여, 고객사에 최적의 맞춤형 솔루션을 제공해 드리고 있습니다.

제품소개

본문

  • Bellows Pump

    - LCB Series
    Bellows Pump는 접액부가 Teflon 소재로 구성된 반도체 제조 프로세스 및 약액 공급용 Pump입니다.
    LOTCES Bellows Pump는 일정한 약액의 흡인, 토출 및 우수한 내구성을 자랑합니다.

    상세정보

    ■ 제품 Line-Up 및 사양



    Bellows Pump

    구분

    단위

    LHB-20A

    LCB-30A

    LHB-40A

    LCB-60A

    Max Discharge Capacity

    LPM

    20

    30

    40

    60

    Max Air Supply Pressure

    Mpa

    0.15~0.5

    0.15~0.3

    0.15-0.2

    0.15~0.5

    0.15~0.3

    0.15-0.2

    0.15~0.5

    0.15~0.3

    0.15-0.2

    0.15~0.5

    0.15~0.3

    0.15-0.2

    Liquid Temp.

    10~100

    101~150

    101-180

    5~50

    51~100

    101-180

    10~100

    101~150

    101-180

    5~50

    51~100

    101-180

    Max Stroke Speed

    SPM

    120

    220

    80

    200

    Connection Size

    Mm

    O.D25- I.D22 PFA Tube

    O.D25- I.D22 PFA Tube

    O.D25- I.D22 PFA Tube

    O.D25- I.D22 PFA Tube

    Supply Air Connection Size

    Inch

    Rc 1/4” (PT 1/4”)

    Rc 3/8

    Rc 3/8

    Rc 3/8

    Ambient Temp.

    0~40

    0~40

    0~40

    0~40



    Damper

    Applied Pump

    단위

    LCB-60A

    LHB-40A

    Liquid Temp. Range

    10 ~ 100

    101 ~ 150

    Max Liquid Pressure

    MPa

    0.5

    0.3

    Air Supply Pressure

    MPa

    0.20 ~ 0.50

    0.15 ~ 0.30

    Pulsation press width

    MPa

    Within 0.06 (in case liquid viscosity is within 1 ~ 50mPas

    Liquid pipe Connection

    PFA tube 1 inch ( Ø22mm x Ø25mm )

    Supply Air Connection

    Rc 1/4 (PT 1/4)

    Wet end material

    PTFE, PFA



    ■ 제품 특징 

    ✓ 일정한 흡인

    ✓ 우수한 내구성

    ✓ 다양한 Line-Up


    ■ 적용 분야

    #반도체 #디스플레이 #태양광 #태양전지 #LED #LCD #전자산업

    첨부파일

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