PM R&D

반도체(Semi) / FPD / 차세대 전지 등 진공 배기 System 개선을 위한 환경 친화적 CLEAN 기술 연구 및 Plasma Solution 을 제공하고 있습니다.

Plasma system Line up 다양화

• Direct Plasma System
  [Vacuum / ATM]

  공정 배관 (Fore line) 내 직접 연결 (Size / 설치 위치 고려)
  미반응 Source 분해 / 공정 부산물 안정화

  

  

• Remote Plasma System
  [Vacuum]

  Remote 방식으로 반응 Gas 주입 (부산물 특성 및 위치 고려)
  공정 부산물 Gas 화 (처리/제거)