PM R&D

본문 바로가기

PM R&D

반도체 부품 기술의 무한한 가능성! 새로운 기회창출로 미래를 그리는 기업 - LOTCES

PM R&D

PM R&D

반도체(Semi) / FPD / 차세대 전지 등 진공 배기 System 개선을 위한 환경 친화적 CLEAN 기술 연구 및 Plasma Solution 을 제공하고 있습니다.

Plasma system Line up 다양화

  • Direct Plasma System
    [Vacuum / ATM]

    공정 배관 (Fore line) 내 직접 연결 (Size / 설치 위치 고려)
    미반응 Source 분해 / 공정 부산물 안정화

  • Remote Plasma System
    [Vacuum]

    Remote 방식으로 반응 Gas 주입 (부산물 특성 및 위치 고려)
    공정 부산물 Gas 화 (처리/제거)

주식회사 엘오티씨이에스 대표자 : 김호식 대표번호 : 041-548-6540 팩스 : 041-541-7540 개인정보보호책임 : admin@lotces.com 본점 : 경기도 오산시 지곶중앙로 1-20 지점 : 충청남도 아산시 음봉면 연암산로 62-5(1공장) / 62-7(2공장)

Copyright © LOTCES. All Rights Reserved.