PM R&D
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반도체(Semi) / FPD / 차세대 전지 등 진공 배기 System 개선을 위한 환경 친화적 CLEAN 기술 연구 및 Plasma Solution 을 제공하고 있습니다.
Plasma system Line up 다양화
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Direct Plasma System
[Vacuum / ATM]공정 배관 (Fore line) 내 직접 연결 (Size / 설치 위치 고려)
미반응 Source 분해 / 공정 부산물 안정화 -
Remote Plasma System
[Vacuum]Remote 방식으로 반응 Gas 주입 (부산물 특성 및 위치 고려)
공정 부산물 Gas 화 (처리/제거)